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賀德克壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件(或應變計)組成。彈性敏感元件的作用是使被測壓力作用于某個面積上并轉換為位移或應變,然后由位移敏感元件(見位移傳感器)或應變計(見電阻應變計、半導體應變計)轉換為與壓力成一定關系的電信號。有時把這兩種元件的功能集于一體,如壓阻式傳感器中的固態(tài)壓力傳感器。
賀德克壓力傳感器是檢測氣體、液體、固體等所有物質間作用力能量的總稱,也包括丈量高于大氣壓的壓力計以及丈量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示,但它的體積大、粗笨、輸出非線性。隨著微電子技術的發(fā)展,利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性,研制出半導體力敏傳感器,主要有硅壓阻式和電容式兩種,它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點,因此半導體力敏傳感器得到廣泛應用。當對一塊半導體在某一晶向上施加應力時,其電阻率會產(chǎn)生一定的變化。這種導體電阻率變化和應力之間的相互關系稱為半導體壓阻效應,利用此效應制成的力學量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器,它有兩種類型,一類是將半導體應變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器,稱為粘貼型壓阻式傳感器,另一類是在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻,使應變計與硅襯底形成同一整體的傳感器,稱為擴散型壓阻式傳感器。
賀德克壓力傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英(二氧化硅)是一種自然晶體,壓電效應就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,在一定的溫度范圍之內,壓電性質一直存在,但溫度超過這個范圍之后,壓電性質*消失(這個高溫就是所謂的 “ 居里點 " )。由于隨著應力的變化電場變化微小(也就說壓電系數(shù)比較低),所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替換。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù),但是它只能在室溫順濕度比較低的環(huán)境下才能夠應用。磷酸二氫胺屬于人造晶體,能夠承受高溫順相當高的濕度,所以已經(jīng)得到了廣泛的應用。
HYDAC壓力傳感器型號:
EDS3346-2-0016-000
EDS3346-2-06.0-000
EDS3446-1-0040-000
EDS3446-1-0100-000
EDS3446-1-0250-000
EDS3446-1-0400-000
EDS3446-1-0600-000
EDS3446-2-0040-000
EDS3446-2-0100-000
EDS3446-2-0250-000